テクニカルデーター
製品名
化學構造式
吸収波長
特性
用途
ダウンロード
TR-PAG-20304
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外観：類白固體
純度：99.50%
単一金屬イオン：10 ppb
酸値：0.001 mol/Kg
Krf フォトレジスト
TR-PAG-30204
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外観：類白固體
純度：99.50%
単一金屬イオン：10 ppb
酸値：0.001 mol/Kg
Krf フォトレジスト
TR-PAG-40507
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外観: ほとんど白色の固體
純度: ≥99.50%
単一の金屬イオン: ≤200ppb
酸の値: ≤0.002 mol/kg
I線フォトレジスト
TR-PAG-42203
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外観: 淡黃色の固體
純度: ≥99.50%
単一の金屬イオン: ≤200ppb
酸の値: ≤0.002 mol/kg
I線フォトレジスト
TR-TM1302
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外観: 淡黃色から無色の液體
純度: ≥99.00%
Krf フォトレジストポリマー用モノマ
TR-B601
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分子量の平均: 8000 ~ 15000
分子量の分布: < 1.8
水分: 0.5%
殘留モノマー: < 1.0%
単一の金屬イオン: < 50 ppb
Hs = 60 ~ 70% 、 st = 10 ~ 25%
TBA=5-20%
Krf フォトレジストポリマー phs 樹脂
TR-B602
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分子量の平均: 15000 ± 1000
分子量の分布: 1.50 ~ 1.80
殘留モノマー: < 1.0%
単一の金屬イオン: < 50ppb boc: 30 ± 5%
Krf フォトレジストポリマー phs 樹脂