技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品名稱
結(jié)構(gòu)式
吸收波長
特性
應(yīng)用
下載
TR-PAG-20304
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外觀：類白色固體
純度：≥99.50%
單個金屬離子：≤10ppb
酸值：≤0.001mol/Kg
KrF光刻膠
TR-PAG-30204
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外觀：類白色固體
純度：≥99.50%
單個金屬離子：≤10ppb
酸值：≤0.001mol/Kg
KrF光刻膠
TR-PAG-40507
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外觀：類白色固體
純度：≥99.50%
單個金屬離子：≤200ppb
酸值：≤0.002mol/Kg
i線光刻膠
TR-PAG-42203
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外觀：淡黃色固體
純度：≥99.50%
單個金屬離子：≤200ppb
酸值：≤0.002mol/Kg
i線光刻膠
TR-TM1302
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外觀：淡黃色到無色液體
純度：≥99.00%
KrF光刻膠聚合物用單體
TR-B601
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重均分子量：8000-15000
分子量分布：＜1.8
水分：＜0.5%
殘留單體：＜1.0%
單個金屬離子：＜50ppb
組成：HS=60-70%,ST=10-25%
TBA=5-20%
KrF光刻膠聚合物PHS樹脂
TR-B602
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重均分子量：15000±1000
分子量分布：1.50-1.80
殘留單體：＜1.0%
單個金屬離子：＜50ppb BOC：30±5%
KrF光刻膠聚合物PHS樹脂